Die Kondensation des neutralen Dampfes auf dem Substrat erfolgt beim PIAD-Verfahren unter Einwirkung energiereicher Ionen, welche eine höhere Energie als die Dampfteilchen besitzen.
Die Herstellung mechanisch stabiler Schichten mit hohem Brechungsindex, guter Haftung und niedriger Absorption ist so auf Kunststoffen möglich. Die Ionen werden dabei in einer separaten Plasmaquelle wie der Leybold APS mit einer Mischung aus Arbeitsgas (z.B. Argon) und Reaktivgas (z.B. Sauerstoff) erzeugt.
