Inspektionsobjektive für die Halbleiterindustrie

Optische Inspektionsverfahren tragen in der Halbleiterfertigung wesentlich zur Realisierung höchster Anforderungen hinsichtlich Defektarmut bei. Jenoptik bietet maßgeschneiderte DUV-Objektive und Baugruppen sowie Optikmodule, die erfolgreich und leistungsbestimmend in optischen Prozesskontrollanlagen für die Halbleiterindustrie eingesetzt werden. 
Entsprechend der neuesten Entwicklungen im Bereich der Laserquellen realisieren wir Lösungen für den gesamten DUV-Wellenlängenbereich mit Fokus auf 193 nm bis hin zu EUV und sind in der Lage, höchste Abbildungsgüte (Wellenfrontfehler < 0.035 λ bei DUV-Wellenlängen) serienmäßig zu liefern.

Profitieren Sie von den Vorteilen der Inspektionsobjektive von Jenoptik sowie unserem Entwicklungs- und Fertigungs-Know-how. Kundenspezifische Objektive entwickeln wir entsprechend Ihrer konkreten Anforderungen und bieten Ihnen dabei die komplette Prozesskette von der Entwicklung bis zur Serienfertigung. Gern realisieren wir für Sie auch Machbarkeitsstudien.