Halbleiterausrüstungsmodule

Für die erfolgreiche und profitable Fertigung von Mikrochips ist die Sicherung einer hohen Ausbeute von entscheidender Bedeutung. Jenoptik stellt kundenspezifische Optikmodule sowie DUV-Objektive und Baugruppen her, die erfolgreich und leistungsbestimmend im Chipfertigungsprozess und in optischen Prozesskontrollanlagen für die Halbleiterindustrie eingesetzt werden.  

Entsprechend der neuesten Entwicklungen im Bereich der Laserquellen realisieren wir Lösungen für den gesamten DUV-Wellenlängenbereich mit Fokus auf 193 nm bis hin zu EUV und sind in der Lage, höchste Abbildungsgüte (Wellenfrontfehler < 0.035λ bei DUV-Wellenlängen) serienmäßig zu liefern.

Wir bieten unseren Kunden die komplette Prozesskette von der Entwicklung bis zur Serienfertigung und realisieren gern auch Machbarkeitsstudien.

Wir stehen Ihnen gern zur Seite und unterstützen Sie bei der Erarbeitung einer passenden Systemlösung.