Spezialoptik für höchste Genauigkeit

Der Sensor nutzt die chromatische Längsabberation einer Spezialoptik. Aufgrund der Unabhängigkeit des Messprinzips von den Oberflächeneigenschaften der Messproben wie Reflektivität, Farbe und Textur, können die unterschiedlichsten Materialien vermessen werden.

Das koaxiale Messprinzip ist unempfindlich gegenüber Abschattung, so dass auch Strukturen mit großen Aspektenverhältnissen vermessen werden können. Der kompakte Messkopf arbeitet ohne bewegliche Komponenten.
Durch die hohe effektive Messrate eignet sich der Sensor insbesondere auch für die Topografiemessung. Der Messbereich wird durch die Wahl des entsprechenden Sensorkopfes bestimmt.