Jenoptik zur SEMICON WEST 2010: Kundenspezifische mikrooptische Lösungen für Halbleiter & Flat Panel Display Markt

Jenoptik hat die Prozesseigenschaften für mikrooptische Elemente aus CaF₂ (Kalziumfluorid) optimiert und für die verschiedensten Applikationen auf dem Halbleitermarkt angepasst. Diese und weitere kundenspezifische mikrooptische Elemente präsentiert Jenoptik in San Francisco (CA), USA.

Hocheffiziente Mikrooptik vom DUV bis zum Infrarot

Die hohe Laserbeständigkeit und Transparenz von CaF₂ machen dieses Material zur ersten Wahl, wenn Excimerlaser für die Mikrolithografie zum Einsatz kommen. Die herausragenden Eigenschaften vom tiefen Ultravioletten bis zum infraroten Spektralbereich eröffnen darüber hinaus Anwendungen für andere Excimerlaserwellenlängen, wo hohe Leistungen verlangt werden.

Der Geschäftsbereich Mikrooptik der Jenoptik-Sparte Optische Systeme bietet kundenspezifische OEM-Komponenten in CaF₂ als einer der Weltmarktführer von DUV Mikrooptiken an.
Das CaF₂-Produktportfolio hochflexibler Mikrostrukturen umfasst refraktive und diffraktive Lösungen: beispielsweise refraktive Wabenkondensoren zur Strahlhomogenisierung, diffraktive Linsenarrays zur Füllfaktorerhöhung, DOEs für Strahlhomogenisierungen sowie DOEs für die Inspektion von Lithografie-Masken. Diese Lösungen eignen sich ideal für modernste Lithografie-Anwendungen in der Halbleiter & Flat Panel Display Industrie, welche höchste Anforderungen an Uniformität, Effizienz und Strahlungsleistung stellt. Durch das Design und die Fertigung mikrooptischer CaF₂-Lösungen kann eine signifikante Reduzierung der Komplexität optischer Systeme erreicht werden.

Die refraktiven optischen Elemente werden vorzugsweise bei anamorphen Abbildungen eingesetzt, wobei man hier nicht auf zylindrische Flächen limitiert ist. Rechteckige refraktive Homogenisierer auf zwei Oberflächen können auch als Homogenisierer für anamorphe Felder angeboten werden.

CaF₂-Mikrooptiken können auf Substrate von 75 -150 mm Durchmesser und 0,5-6 mm Dicke gefertigt werden. (Download für Datenblatt)

Kontaktieren Sie die Experten und besuchen Sie uns vom 13.-15. Juli 2010 in San Francisco, Halle Süd, Stand 2413.

Zum Geschäftsbereich Mikrooptik

Der Geschäftsbereich Mikrooptik ist Anbieter eines vollständigen Portfolios mikrooptischer Produkte, die ausgezeichnete Funktionseigenschaften aufweisen. Aufbauend auf einer breiten Palette technologischer Kompetenzen können die Kunden zwischen einer Vielzahl von Möglichkeiten wählen – von der Entwicklung und dem schnellen flexiblen Prototyping bis hin zur Fertigung refraktiver, diffraktiver oder hybrider mikrooptischer Lösungen in kleinen und gro%DFen Serien.

Die Beherrschung einer reichhaltigen Materialpalette von CaF₂, Fused Silica, Si, Ge, GaP, verschiedene Gläser, Keramik über Kunststoffe bis zu ZnSe gestattet die Abdeckung eines breiten Wellenlängenbereiches vom DUV bis zum IR und stellt die Grundlage dar, verschiedenste Applikationen mit Produktionsanlagen in der Halbleiterfertigung, Lasermaterialbearbeitung sowie mit Geräten für Life Science oder die Sicherheits- und Wehrtechnik zu lösen.

Sowohl OEM-Hersteller als auch Systemintegratoren finden im Geschäftsbereich Mikrooptik einen kompetenten Ansprechpartner für neue und leistungsfähige Lösungen.

Mit Fertigungsstandorten in Deutschland und den USA sowie weltweiten Vertriebsvertretungen ist die unmittelbare Nähe zum Kunden gesichert. (weitere Informationen)

Zum Halbleiter & Flat Panel Display Markt

Jenoptik ein führender Anbieter von kundenspezifischen optischen und mikrooptischen Systemen, Modulen und Komponenten für den kompletten Wellenlängenbereich vom EUV über das DUV bis zum Infrarot. Unsere Kunden aus der Halbleiter- und Flat Panel Display Ausrüstung profitieren von unserer Design- und Lösungskompetenz, von unseren Hochtechnologien zur Optik- und Mikrooptikfertigung und unserer tiefgreifenden Erfahrung mit Themen wie z.B. Lebensdauer bei hohen Laserleistungen und Photokontamination im UV, Lösungen zur Homogenisierung von Licht sowie UV-stabile Beschichtungen.

Zur Jenoptik-Sparte Optische Systeme

Der Jenoptik-Konzern gehört mit der Sparte Optische Systeme zu den wenigen Herstellern weltweit, die Präzisionsoptiken und Systeme für höchste Qualitätsansprüche fertigen.

Neben optomechanischen & optoelektronischen Systemen, Modulen und Baugruppen ist die Sparte Entwicklungs- und Produktionspartner für optische, mikrooptische und beschichtete optische Komponenten  –  sowohl aus optischem Glas, Infrarotmaterialien und aus Kunststoffen.

Zum Produktportfolio gehören weiterhin Systeme und Komponenten für Life Science, Lighting & Energy-Anwendungen, optoelektronische Systeme für die digitale Bilderfassung und -auswertung sowie Kameras für die digitale Mikroskopie.